Superionic hydrogen sensor on SOI micro hotplate

Ziel des Projektes ist es, einen sensitiven und langzeitstabilen Wasserstoffsensor für eine frühzeitige Branddetektion zu entwickeln, der sich durch einen geringen Energieverbrauch auszeichnet. Der Sensor soll die Nachteile bekannter Wasserstoffsensoren (hoher Energiebedarf, geringe Selektivität, unzureichende Nachweisgrenze und Langzeitstabilität) überwinden. Der geringe Energieverbrauch soll durch den Betrieb des Sensors bei Raumtemperatur, ergänzt durch kurze Aufheizimpulse und die Auslegung des miniaturisierten Bauelements als Micro Hotplate auf Basis von Silicon on Insulator (SOI) Strukturen erreicht werden. Mit dieser Entwicklung soll ein Sensor zur Verfügung gestellt werden, der auch den zukünftigen Einsatz in unterschiedlichen energieautarken Systemen ermöglicht.